半导体装备指的是用于制造半导体芯片的工业设备。半导体芯片是现代电子产品中必不可少的组成部分,包括计算机、手机、平板电脑等等。
这些半导体设备通常由一系列高度精密的工具和机器组成,用于在硅晶圆上创建微小的线路、晶体管和其他元件。这些设备包括光刻机、化学气相沉积设备、物理气相沉积设备、离子注入装置、化学机械抛光机等等。
半导体装备的设计和制造需要高度精密的技术和专业知识,以确保芯片生产的质量和产量。它在现代电子工业中扮演着至关重要的角色。