高速超精密激光干涉仪，就是为了实现光刻机在光刻过程中，对晶圆、物镜系统、工作台位置的超精准定位。如果没有配套的激光干涉仪，国产光刻机等设备的调试、生产工作就无法进行。可以说，该设备的核心技术突破，也是实现高端光刻机设备国产化的先前条件。